Illuminazione di apparecchiature di processo per semiconduttori

Illuminare l'interno di un sistema di preparazione superfici o altra apparecchiatura di processo nel settore dei semiconduttori può presentare notevoli difficoltà. 

I dispositivi di illuminazione non devono interrompere il flusso laminare dell'aria attraverso il sistema e i limiti di spazio possono restringere sensibilmente le opzioni di illuminazione disponibili. Luci di taluni colori, inclusa la luce bianca, possono avere un effetto negativo sui processi di sistema. In più queste lampade possono essere esposte a sostanze chimiche aggressive che le danneggiano, oltre a vapori in grado di corrodere e intaccare le superfici. L'inserimento delle lampade all'interno di custodie protettive speciali, che non ostacolino il flusso dell'aria, comporta spese aggiuntive e allunga i tempi di installazione, oltre a complicare potenzialmente gli interventi di manutenzione ordinaria.

Spesso, le luci vengono semplicemente installate negli angoli di un'apparecchiatura di processo, dove non disturberanno il flusso di aria e dove la disponibilità di spazio è maggiore. Ma in queste posizioni, probabilmente le lampade non illumineranno adeguatamente l'area di lavoro.

VANTAGGI

  • Illuminazione gialla brillante e uniforme sull'intera area.
  • Costi ridotti e 50.000 ore di funzionamento senza manutenzione.
  • Non interrompe il flusso laminare dell'aria e è resiste a vapori e sostanze chimiche.

  • Illuminazione di apparecchiature di processo per semiconduttori

I WLS27 di Banner sono robuste strisce luminose a LED studiate specificamente per illuminare in modo omogeneo e brillante ambienti difficilmente accessibili e spazi ristretti. Si caratterizzano per un design aerodinamico salva-spazio, sono completamente incapsulate in un guscio protettivo e sono disponibili con luci in una ricca gamma di opzioni cromatiche. I designer addetti alle macchine possono installare le lampade di servizio a striscia LED WLS27 in ogni situazione in cui è necessario illuminare un'area di lavoro, evitando così di apportare modifiche dispendiose, in termini di tempo e di denaro, agli impianti di illuminazione.

All'interno dell'apparecchiatura di processo, diverse lampade LED a striscia di 430 mm sono installate direttamente sopra l'area di lavoro che risulta illuminata con una luce gialla chiara e brillante, adatta per i processi fotolitografici. Ogni luce è appesa a circa 250 mm di distanza dalla superficie superiore dell'apparecchiatura, direttamente nel flusso dell'aria. In ogni caso la forma cilindrica delle lampade non ostacola il flusso laminare dell'aria necessario per tenere pulito lo spazio. 

Ogni striscia di LED è completamente incassata in un guscio in policarbonato antiurto, provvisto di saldature ridondanti per prevenire l'ingresso di acqua o altri liquidi, e con grado di protezione IEC IP66, IP67 e IP69K. Le staffe in policarbonato utilizzate in questa applicazione garantiscono che l'intera installazione sia perfettamente protetta da danni da corrosione o intaccature causati da vapori o sostanze chimiche. Queste lampade LED a striscia, convenienti sotto il profilo costi, proiettano una luce vivida per il loro intero ciclo di vita, di 50.000 ore o più, e non richiedono manutenzione.